Umweltschutz: Leckageüberwachung fluorhaltiger Gase in Ätz- und Reinigungsprozessen

Oktober 01 13:49 2010 Print This Article


Das Leckageüberwachungsgerät Polytron 7500 von Draeger erkennt Leckagen von fluorhaltigen Spezialgasen wie Hexafluor-1.3-butadien (C4F6), Octafluorcyclopenten (C5F8), Stickstofftrifluorid (NF3) und Schwefelhexafluorid (SF6).


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