Geläppte und feingeschliffene Bauteile lassen sich sehr schwer auf Ebenheit überprüfen. Um diese dennoch zu bestimmen, kann man ein Interferometer mit schrägem Lichteinfall verwenden. So lassen sich Teile mit einem Durchmesser bis 100 mm mit einer einzelnen Messung im Sekundenbereich prüfen.
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