Je empfindlicher die Folie und schneller die Prozesse, umso höher die Ansprüche an die Temperaturverteilung der Heizplatten. Anwendungsspezifische Platten sollen gegenüber Standardsystemen eine besonders gleichmäßige Temperaturverteilung mit einer Abweichung von nur 2 Grad Celsius ermöglichen.
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