DIN-Norm zur Dickenmessung von Polymerschichten

Februar 14 10:15 2017

Die Physikalisch-technische Bundesanstalt (PTB) hat zusammen mit anderen Metrologie-Instituten ein Verfahren zur Korrektur von systematischen Messabweichungen entwickelt. Das Verfahren ist in der Norm DIN 32567 „Fertigungsmittel für Mikrosysteme – Ermittlung von Materialeinflüssen auf die Messunsicherheit in der optischen und taktilen dimensionellen Messtechnik“ standardisiert worden.


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