Großflächige Bauteile mit winzigen Details müssen zur Qualitätskontrolle oft unter dem Mikroskop untersucht werden. In der Halbleiter- und Elektronikindustrie ist der Bedarf an mikroskopischen Prüfverfahren aufgrund des hohen Miniaturisierungsgrads besonders groß. Der Aufnahmeprozess bei der mikrosk…
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