Mit einer Beschichtungsrate von über 2000 nm ∙ m/min können durch arcPECVD hochproduktiv Schichten hergestellt werden. Potenzielle Anwendungsfelder sind Schichtsysteme mit optischen Funktionen oder Permeationsbarrieren auf Kunststofffolien. Wissenschaftler am Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl…
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