Mikro-elektro-mechanische Systeme (MEMS) sind Wegbereiter für mobil einsetzbare handliche Sensorsysteme, die einfach durchzuführende Messungen vor Ort oder auch eine Integration in industrielle Messtechnik in Produktions- und Verarbeitungsanlagen erlauben. Mögliche Anwendungen finden sich unter ande…
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